Сделай бекап только squid, не трогая samba. У тебя самба не дает запустить систему. Еще как вариант на старом железе самбу убрать из автозапуска, забекапить, а после уже накатить на новое железо.

А лучше если у тебя сервер только под прокси, то забекап конфиги squid'a. На новом железе подними deb7 и squid той же версии, и подсуть ему конфиги из бекапа.